第一章 總則
第1．0．1 條潔凈廠房設計必須貫徹執行國家的有關方針政策，做到技術先進、
經濟合理、安全適用、確保質量，符合節約能源和環境保護的要求 。
第1．0．2 條本規范適用于新建和改建、擴建的潔凈廠房設計，但不適用于以細菌為控制對象的生物潔凈室。本規范有關防火和疏散、消防設施章節的規定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設計。
第1．0．3 條在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，潔凈廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區別對待，充分利用已有的技術設施。
第1．0．4條潔凈廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和安全運行創造必要的條件。
第1．0．5條潔凈廠房設計除應按本規范執行外，尚應符合現行的國家標準、規范的有關要求。
第二章 空氣凈度等級
第2．0．1條 空氣潔凈度應按表2.0.1規定劃分為四個等級。
空氣潔凈度等級表2.0.1
| 等級 |
每立方米（每升）空氣中≥0.5微米塵粒數 |
每立方米（每升）空氣中≥5微米塵粒數 |
| 100級 |
≤35×100(3.5) |
≤250(0.025) |
| 1000級 |
≤35×1000(35) |
≤2500(0.25) |
| 10000級 |
≤35×10000(350) |
≤25000(2.5) |
| 100000級 |
≤35×100000(3500) |
≤250000(25) |
注：對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內大于等于5微米塵粒的計算應進行多次采樣。當其多次出現時，方可認為該測試數值是可*的。
2．0．2條潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗，應以動態條件下測試的塵粒數為依據。潔凈室空氣潔凈度的測試，應符合附錄二規定。
第三章 總體設計
第一節 潔凈廠房位置選擇和總平面布置
第二節 工藝布置和設計綜合協調
第三節 噪聲控制
第四節 振動控制
第四章 建筑
第一節 一般規定
第二節 人員凈化和物料凈化設施
第三節 防火和疏散
第四節 室內裝修
第五章 空氣凈化
第一節 一般規定
第二節 潔凈室正壓控制
第三節 氣流組組織和送風量
第四節 空氣凈化處理
第五節 采暖通風
第六節 風管和附件
第六章 給水排水
第一節 一般規定
第二節 給水
第三節 排水
第四節 消防設施
第七章 工業氣體管道
第一節 一般規定
第7．1．1條工業氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。 引入潔凈的支管宜明敷。
第7．1．2條高純氣體管道設計，應符合下列要求：
一、根據計算確定管徑。
二、管道系統應盡量短。
三、不宜設預留口。
四、不應出現"盲管"等不易吹除的部位。
五、干管不支管上應設置吹除口。
六、在管系統上應設置吹除口。
第7.1．3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采取可*的密封措施。
第7．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，并應設在防雷保護區內。
第7．1．5條氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一計劃的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應設在*近用氣點處。
第7．1．6條氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。
第二節 管道材料、閥門和附件
第7．2．1條根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規定選用：
一、氣體純度大小或等于99.999%時，應采用不銹鋼管。
二、氣體純度大于或等于99.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。
三、氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管。
四、管道與設備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙
烯管、不得采用乳膠管。
第7．2．2條高純氣體管道應采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應。閥門的密合圈應為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應采用聚四氟乙烯材料。
第7．2．3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。
第三節 管道連接和清洗
第7．3．1條管道連接應采用焊接。高純氣體管道應采用承插焊。
第7．3．2條管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。
第7．3．3條 高純性氣體管道內的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。
第四節 安全技術
第7．4．1條 工業氣體管道設計的安全技術，應符合下列規定；
一、氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器。
二、氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。
三、各種氣體管道應設明顯標志。
第7．4．2條潔凈室內使用氫氣時，宜在室內設置報警裝置。
第7．4．3條各種氣瓶應集中設置在潔凈廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內。
潔凈地區和污染地區室外大氣塵濃度可相差十倍至幾十倍，這就造成了高效過濾器使用壽命有的1—2年，而有的卻高達10年之久的差別，此外，如果室外環境特別干凈，若達到1000級潔凈度，末級過濾器可以不采用高效過濾器，而采用中效過濾器或亞高效過濾器，但在污染地區則完全不可能。
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